碳化硅磨料工艺学

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而现在的煤基黑碳化硅结晶的质量,不论从含量或韧性相对来说是自磨锐性能方面都不亚于绿碳化硅,是不是可以尝试用黑碳化硅微粉来切割硅片呢?因为炼黑碳化硅比之炼绿碳化硅工艺要简单一些,能源消耗要少一些,可以用资源丰富的煤替代有限的石油资源等优越性。四展望未来由于碳化硅具有多种理化方面的优良特性,。

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